ZEISS SMT, TRUMPF und das niederländische Unternehmen ASML haben eine Lithographie-Maschine entwickelt, deren Hochleistungslaser mit extrem ultraviolettem Licht arbeitet, um Computerchips mit einer unübertroffenen Dichte an Transistoren zu belichten. Die Maschinen von ASML stehen weltweit in den Fabriken von allen Chipherstellern. Michael Kösters, TRUMPF, hat mit seinem Team den Hochleistungslaser entwickelt, der in den EUV-Maschinen von ASML verbaut wird. Für Welt am Sonntag.